| | Основные технические характеристики вакуумных установок с магнетронным испарением металлов (УВМ-1600, УВМ-1600х3800) приведены в таблице 1. Номенклатура показателей надежности и нормы надежности приведены в таблице 2. Таблица 1 № п/п | Наименование параметра | Норма | УВМ-1600 | УВМ-1600Е | УВМ-1600х3800 | УВМ-1200 | 1 | Максимальная производительность установки, м2/цикл | 7,3 | 3,5 (плоское)и 3 (тела вращения) | 16 | 4 | 2 | Наибольшая величина натекания л.Па/с (л.мкм рт.ст./c) | 2 (15) | 3 | Наибольшие размеры напыляемых изделий, мм | 13501300 | 13501300 (60) | 32501300 | -- | 4 | Давление в вакуумной камере до напуска аргона, Па (мм рт.ст.) не более | 6,65 10-3 (5.10-5) | 5 | Давление в вакуумной камере во время ионной очистки, Па (мм рт.ст.), не более | 13,3 (1.10-1) | 6 | Давление в вакуумной камере при напылении Па (мм рт.ст.) | 10-1 – 5x10-1 (1.10-3 - 5.10-3) | 7 | Время откачки камеры без подложек до давления 6,65.10-3 (5.10-5 мм рт.ст.), с, не более | 1500 | 1500 | 2100 | - | 8 | Распыляемый материал | | 9 | Время ионной очистки для зеркал с, не менее | 420 | 10 | Расход охлаждающей воды при температуре 288 К ± 5° К (15 °С ± 5 0С) и давлении на входе в установку 2.105 Па (2 кгс/см2) л/ч, не более | 2000 | - | 11 | Габаритные размеры (без вакуумного насоса NL поз.12 и приемного устройства), мм, не более | 258023453900 | 258023453900 | 258045003900 | --- | 12 | Масса установки, кг, не более | 3500 | 3500 | 4000 | - | 13 | Толщина наносимого слоя покрытия, мкм, по латуни до | 5 | 14 | Коэффициент отражения зеркал с алюминиевым отражающим покрытием, не менее | 0,77 | 15 | Расход газообразного аргона высшего сорта ГОСТ 10157-79 при давлении в камере 6,65.10-1 Па (5.10-3 мм рт.ст.), кг/ч, не более | 2,5.10-2 | 16 | Установленная мощность, кВт, не более | 70 | 70 | 85 | 35 | 17 | Напряжение питающей сети при частоте 50 Гц, В | 380/220 |
Цены на оборудование (01.03.2013 г.): 1. Состав и стоимость комплектующих вакуумных установок УВМ 1600х3800 (металлизация стекла, пластмасс) ....... Состав и стоимость комплектующих вакуумных установок барабанного типа с двойной системой испарения металлов (например, металлизация мебельной фурнитуры, оптических отражателей, колпачков, мелких деталей, тел вращения и т.п. изделий): 2. Схема 1 Универсальная схема откачки вакуумной напылительной установки барабанного типа металлизации деталей с повышенным газовыделением и магнетронным и термическим испарением.... Стоимость комплектующих системы......
3. Схема 3 Минимально возможная схема откачки вакуумной напылительной установки (термическое, дуговое испарение)....
Стоимость комплектующих системы..... 4. Схема 4 Обычная схема откачки вакуумной напылительной установки металлизации деталей....
Стоимость комплектующих системы.... Примечания: 1. Расход электроэнергии и время ионной очистки нормируется при напылении зеркал алюминием, для других изделий не нормируется и устанавливается потребителем в процессе эксплуатации установки. 2. Среднее время загрузки и выгрузки установки стёклами магнетронных установок размером 1350х1300 равно 180 с. Требования к надежности:Номенклатура показателей надежности и нормы надежности должны соответствовать указанным в таблице 2. Таблица 2 Наименование показателя | Норма | 1. Средняя наработка на отказ, ч, не менее | 300 | 2. Средний ресурс до капитального ремонта ч, не менее | 5600 | 3. Средний срок службы до капитального ремонта, год, не менее | 3 | 4. Средний срок сохраняемости, год, не менее | 1 | 5. Коэффициент готовности, не менее | 0,98 | 6. Установленная безотказная наработка, ч, не менее | 64 | 7. Установленный ресурс до капитального ремонта, ч, не менее | 2950 | 8. Установленный срок сохраняемости, год, не менее | 1 |
Примечания: 1. Нормы показателей безотказности обеспечиваются с учетом поставляемого с изделием комплекта ЗИП и проведением потребителем технического обслуживания согласно эксплуатационной документации. 2. Нормы показателей долговечности обеспечиваются с учетом приобретаемого потребителем ремонтного комплекта ЗИП. Под отказом установки понимается событие, в результате которого рабочие параметры установки не соответствуют требованиям пунктов 4, 7 таблицы 2.Критерии предельных состояний установки - предельные состояния базовых деталей (камера, крышка камеры), требующие восстановления путем полной разборки установки, сварки и точной механической обработки на станках. Критерии отказов установки - отказы составных частей и комплектующих изделий (КИ). Замена элемента из ЗИП не рассматривается как отказ установки.
Видеоролик:(требования: Pentium 1 и выше, звук. карта, проигрыватель Windows Media. Формат MPEG-4)Установка УВН 1600х3800. |
