Общество ограниченной ответственности "ДеКо Вакуум"

DeKo Vacuum Ltd.       

Система вакууммирования установки УВМ (см. рис.4.6) состоит из форвакуумной и высоковакуумной систем откачки.

Форвакуумная система, предназначена для создания в вакуумной камере 20 (см. рис. 4.2) давления порядка 1.10^-2 мм рт.ст. - 5.10^-2 мм рт.ст., состоит из агрегата (АВЗ-180), вакуумных клапанов с электромеханическим магнитным приводами 8, 9, 17, 24 и трубопроводов.

Агрегат 12 (см.рис.4.6) (АВЗ-180) предназначен для:

1) откачки внутренней полости механизма прижима (цилиндра) 2 крышки вакуумной камеры 1;

2) создания предварительного разрежения для запуска двух насосов ND1 19 и ND2 15 и совместной откачки вакуумной камеры 1.

Клапаны 8, 9, 17, 24, предназначены для перекрытия вакуумных магистралей и отсоединения форвакуумной системы откачки от вакуумной камеры.

Высоковакуумная система откачки предназначена для создания в камере высокого вакуума - 5.10^-5 мм рт.ст. и состоит из двух диффузионных паромасляных насосов 15 и 19 (НВДМ-400) (см. рис. 4.6), проточных водяных ловушек ЛВ-400 14 и 20, вакуумных затворов 7 и 21 (2ЗВЭ-400), угловых патрубков, трубопроводов, вакуумных клапанов с магнитным и электроприводами 8,17.

Датчики давления вакуума 5,10,22 и 6,16,23 (см. рис. 4.6) предназначены для замера давления у входа в насосы АВЗ-180, НВДМ-400 и в вакуумной камере.

Диффузионные паромасляные насосы 15,19 предназначены для создания в вакуумной камере высокого вакуума.

Проточные водяные ловушки 14 и 20 предназначены для предотвращения миграции паров масла в вакуумную камеру.

Вакуумные затворы 7 и 21 предназначены для перекрытия высоковакуумной системы откачки от камеры.

Устройство и принцип действия насосов НВДМ-400, АВЗ-180, затворов 23ВЭ-400 и клапанов приведены в паспортах на эти изделия.

Клапаны с электро и магнитным приводами 8,9,17,24  предназначены для аварийного отсечения вакуумной камеры, насоса 12 (АВЗ-180), высоковакуумных насосов НВДМ-400 как друг от друга, так и от атмосферы в случае отключения электроэнергии. Клапаны 8 и 17 служат для ручного отключения высоковакуумных насосов 15 и 19 (НВДМ-400) в случае их неисправности.

Приемное устройство (рис.4.1) служит для загрузки контейнера, расположенного на тележке напыляемыми изделиями и для его разгрузки.

Приемное устройство состоит из рамы с ручкой, рычагом, опирается на 4 ролика и две направляющие.

Загрузка и выгрузка контейнера из камеры осуществляется после стыковки направляющих приемного устройства с направляющими камеры.  По отдельному договору возможно изготовление откачной системы, на основе вакуумного оборудования фирмы Varian (Torino, Italy).

Послать письмо admin@deko-vacuum.ru with questions or comments about this web site.
Авторские права © 2001 Конев Сергей Александрович (идея, графика, все материалы, оцифровка текстов, Web- дизайн).
Последнее изменение: февраля 05, 2017.

При перепечатке материалов, ссылки на страницы сайта:

http://www.deko-vacuum.ru  http://www.deko-vacuum.narod.ru  - обязательны.